河南科技大学拥有的科技成果(成果名称:一种基于SLiM-Cut技术制备超薄硅片的方法)拟转让。
一种基于SLiM-Cut技术制备超薄硅片的方法,在硅衬底上印上一层厚度为20μm青铜浆层,干燥后放入快速退火炉,加热到720℃之后,保温10秒,然后停火冷却;取出后在硅衬底上青铜层的表面印制厚度为40μm的锌浆层,干燥后放入快速退火炉中,加热到720℃之后,保温10秒,然后停火冷却,使硅衬底表面与青铜层相结合的硅层从硅衬底上剥离;放入化学蚀刻液中,将锌层和青铜层腐蚀溶解,取出剩余的硅层,清洗后晾干,即得到厚度为30-50μm的超薄硅片。本方案退火温度较低,降低了能源消耗;以青铜和锌为丝印层,均为传统的材料,便于进行大规模化生产,利于降低成本。
拟转让形式:专利权转让。
经过该项科技成果让与方和意向受让方协商,该项科技成果拟转让价格为4万元。
本着公平、公正、公开原则,对上述科技成果拟转让价格进行公示。
公示时间:2019年10月7日至2019年10月25日(共十五个工作日)。
公示期间,如有任何异议,请到河南科技大学科技处(开元校区致远楼322房间)反映,或者拨打电话0379-64231305反映。
河南科技大学科技处
2019年10月7日